技術(shù)規(guī)格 |
參數(shù) |
真空泵 |
高性能旋片泵 |
抽速 |
≥2m3/h |
極限真空 |
<10Pa |
工作氣壓 |
10-100Pa |
抽真空時間 |
<1Min |
真空規(guī) |
皮拉尼真空計 |
腔體 |
標配~Ø150*90mm石英玻璃腔體 |
射頻電源 |
10-50 W可調(diào), 13.56 MHz |
操作方式 |
觸摸屏控制,控制系統(tǒng)提供互鎖保護功能 |
重量 |
主機~20 kg |
尺寸 |
~400mm長*310mm深*368mm高 |