TEM 樣品桿或樣品如果暴露在空氣中或存儲不當(dāng)，容易產(chǎn)生有機污染，如果繼續(xù)將其置 于TEM 腔室內(nèi)，不僅會影響成像質(zhì)量，而且對 TEM 腔室也會造成污染。

等離子體清洗儀IC150，通過RF射頻電源將通入的空氣離化，離化后產(chǎn)生的氧活性自由基、 臭氧及氧等離子體等強氧化粒子與樣品表面有機污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成 CO₂ 和 H₂O 等氣體并被真空泵組抽出，最終實現(xiàn)樣品桿或樣品表面有機污染物清洗之目的。