技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

真空泵

  高性能旋片泵

抽速

  ≥4m³/h

極限真空

  <1Pa

工作氣壓

  4-10Pa，可恒壓控制

抽真空時間

  <3-5Min

真空規(guī)

  進(jìn)口品牌皮拉尼真空計

腔體

  標(biāo)配 Ø150*120mm 石英玻璃腔體

數(shù)顯樣品臺

Ø75mm可偏轉(zhuǎn)數(shù)顯行星樣品臺，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：10-60RPM可調(diào)，偏轉(zhuǎn)角度：±40度可調(diào)，靶基距40-60mm可調(diào)

磁控濺射靶

  靶材尺寸 Ø50*0.1-1mm

濺射電源

  恒功率DC濺射電源 Max.20W，Max.100mA，0-800V

操作方式

  觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能

重量

  ~20kg

尺寸

  ~400mm寬*337mm深*346mm高