CN
RPS50EM 遠(yuǎn)程等離子體清洗源
電鏡腔室大掃除 / 預(yù)抽室日常清洗場(chǎng)景
1ICP-RF技術(shù)，等離子體更溫和
2 低熱損傷，低離子轟擊損傷
3 全自動(dòng)觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)便
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試用產(chǎn)品:
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產(chǎn)品介紹
Product Introduction
RPS50EM是一款遠(yuǎn)程等離子體清洗源，可集成于SEM或FIB腔體，通過(guò)電離氣體產(chǎn) 生的等離子體對(duì)腔室和樣品碳?xì)浠衔镞M(jìn)行高效清洗，不僅可以解決成像過(guò)程中的積碳 黑框現(xiàn)象，且可提高成像分辨率及襯度，縮短腔室抽真空時(shí)間。

RF-ICP技術(shù)使得等離子 體更溫和，可大幅降低清洗過(guò)程中的熱損傷和等離子體轟擊損傷。
基本參數(shù)
Product Specification

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

工作氣壓

 0.5-40Pa

射頻電源

 13.56MHz射頻電源，射頻功率10-50W可調(diào)

氣體模塊

 標(biāo)配MFC 100sccm流量計(jì)（N2）/1只

操作方式

 觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能/提供串口控制指令，可供后續(xù)開發(fā)編程

尺寸

 250mm長(zhǎng)*350mm寬*110 mm高（控制器）

 178.5mm長(zhǎng)*138.5mm寬*99.5mm高（RF離子源）

重量

 ~9kg

連接方式

 KF40法蘭接口

進(jìn)氣系統(tǒng)

 Ø6mm進(jìn)氣口

電源

 100-220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭

功耗

 ＜200 W