CN
SPC150 高真空等離子體清洗儀
ICP-RF遠(yuǎn)程清洗技術(shù)：等離子體更溫和
1超薄碳膜碳?xì)湮廴厩逑?/div>
2 TEM 樣品/樣品桿等離子體處理
3 特色硅污染清洗
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試用產(chǎn)品:
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產(chǎn)品介紹
Product Introduction
SPC150 是一款高真空等離子體清洗儀，三個(gè)氣路 MFC 可以精確控制氣體流量，且離子源和樣品倉之間設(shè)有柵網(wǎng)，可以起到更柔和的清洗效果，特別適用于超薄碳膜等樣品的碳?xì)湮廴竞凸栉廴厩逑础?br />
SPC 還可實(shí)現(xiàn)原位 TEM 樣品桿或 Cell 芯片等離子體處理、原位 TEM 樣品桿真空檢漏功能。
基本參數(shù)
Product Specification

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

泵組

渦輪分子泵+無油隔膜泵

分子泵入口法蘭

DN63ISO-K（標(biāo)準(zhǔn)）

分子泵抽速

>85L/s （N2）

前級(jí)泵

>0.7m3/h

極限真空

<5E-4Pa

泵組啟動(dòng)時(shí)間

≤300s

TEM樣品桿配件

適配Thermo、JEOL、Hitachi樣品桿可選；可放置2路以上TEM holder

樣品腔室尺寸

~160 *100 mm，等離子體處理強(qiáng)弱分區(qū)設(shè)置

等離子體清洗源

遠(yuǎn)程RF射頻源原理，手動(dòng)匹配

清洗電源功率

13.56MHz RF電源，5-50W可調(diào)

清洗氣體控制

標(biāo)配3路MFC流量計(jì)控制，可以外接如Ar、O2和H2等氣體

真空規(guī)

進(jìn)口品牌全量程復(fù)合規(guī)

操作方式

觸摸屏控制, 預(yù)存工藝菜單，控制系­­­­­統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能

重量

~30Kg

尺寸

~500mm寬*466mm深*390mm高