CN
FST1000 薄膜應力測量儀
硬質(zhì)涂層殘余應力測量，可測范圍：0.1GPa~10 GPa量級
1易操作
2 全自動測量
3 高性價比
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試用產(chǎn)品:
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產(chǎn)品介紹
Product Introduction
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進控制技術(shù)和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜應力儀特別適合于要求快速測量硬質(zhì)涂層等薄膜殘余應力（典型值0.1GPa到10 GPa量級）。

源自中科院金屬研究所和深圳職業(yè)技術(shù)學院相關(guān)研究成果轉(zhuǎn)化！ 專利號：CN204854624U；CN203688116U；CN100465615C
基本參數(shù)
Product Specification
技術(shù)規(guī)格 參數(shù)
基本原理 激光曲率法 基于Stoney公式
薄膜應力測試范圍 10M-50GPa
曲率半徑測試范圍 0.5-50m
薄膜應力計算精度 小于3%
曲率半徑重復精度 ＜2%
測試平臺行程 X方向：30 mm / Y方向：100 mm；步長：Min 0.1 mm
樣品尺寸 建議長寬比>5:1的長方形樣品；典型尺寸：10×50×1 mm
樣品校正 可計算校正原始表面不平直影響（對減模式）
主要功能 可建測量樣品材料參數(shù)、測量參數(shù)數(shù)據(jù)庫 自動測量樣品表面輪廓、曲率、弓高等數(shù)據(jù) 自動計算曲率半徑和薄膜應力 2D/3D 可視化樣品表面輪廓、曲率半徑、弓高、薄膜應力等數(shù)據(jù)
工作溫度 0-50℃
操作軟件 視窗界面/適用于Windows 10 系統(tǒng)
操作電腦 配置優(yōu)于 2GHz CPU、 8G 內(nèi)存、256G 硬盤，不小于21寸顯示屏 知名品牌一體機
重量尺寸 ～25kg / ～650 mm寬×350 mm 深×400 mm高
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