過(guò)去十年，隨著燈絲及電子光路的優(yōu)化，特別是化合物燈絲的使用，燈絲電鏡分辨率進(jìn)一步提升，從典型的幾千倍到幾萬(wàn)倍量級(jí)，甚至達(dá)到傳統(tǒng)入門(mén)級(jí)場(chǎng)發(fā)射電鏡水平。

離子濺射儀相應(yīng)地也從二極濺射升級(jí)到磁控濺射為主。通常 <2 萬(wàn)倍內(nèi)，噴 Au 為主，2-10 萬(wàn)倍區(qū)間以噴 Pt 為主，足以應(yīng)對(duì)大多數(shù)燈絲 SEM 場(chǎng)景。

針對(duì)越來(lái)越多 3D 樣品場(chǎng)景（粉末、顆粒、多孔、纖維等樣品），我們自主設(shè)計(jì)了模塊化的數(shù)顯樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)。傾角式行星旋轉(zhuǎn)模式使得薄膜沉積更均勻，且可實(shí)現(xiàn)立體角旋轉(zhuǎn) 噴鍍，解決了樣品側(cè)面的繞鍍問(wèn)題，對(duì)于 3D 粉末類(lèi)、多孔類(lèi)及隔膜類(lèi)樣品 SEM 制樣特別友好。